CRYO-U4H是日本ULVAC（愛發科）推出的一款高真空低溫泵，隸屬于CRYO-U系列，依托品牌70余年真空技術積淀，專為半導體、電子設備、光學及科研等領域的高真空需求場景設計。該產品采用兩級GM制冷機技術，可穩定實現高真空至超高真空環境，為精密制造與前沿研究提供可靠的真空保障。

二、核心性能優勢

1. 抽氣效率：作為4英寸規格低溫泵，CRYO-U4H具備強勁抽速表現，20℃環境下氮抽速可達450升/秒，氫抽速500升/秒，水抽速更是高達1100升/秒，能快速建立并維持真空環境，顯著提升生產與實驗效率。極限壓力可達10^-7帕，滿足超高真空應用標準。

2. 智能集群控制：支持單壓縮機驅動多臺泵體運行，最多可串聯4臺CRYO-U4H，大幅降低設備投入與運維成本，尤其適合多工位生產線集中管控。

3. 定制化適配：可根據客戶應用場景進行針對性設計調整，如優化冷卻路徑、適配特殊接口等，靈活匹配半導體濺射工藝、小型精密儀器研發等多樣化需求。

三、技術與結構特點

產品采用閉式循環氦制冷系統，無需頻繁補充冷卻液，實現長期穩定運行。制冷機分為兩級：一級制冷能力強勁，可將溫度降至80K以下，為二級制冷提供熱屏蔽；二級制冷雖功率較小，但能將冷頭溫度降至10-12K，通過15K低溫面板實現氣體冷凝與吸附。80K級屏蔽層有效減少熱輻射干擾，保障低溫面板制冷效率。整機重量僅14.5公斤，緊湊設計節省安裝空間，同時具備低震動、低噪音特性，適配精密環境要求。

四、品牌與服務保障

ULVAC作為全球真空技術企業，在蘇州、上海、成都等地設立生產與服務基地，為中國客戶提供本地化技術支持與售后保障。CRYO-U4H憑借穩定性能與品牌口碑，成為半導體芯片制造、光學元件鍍膜等領域的核心真空設備之一

功能

• 4英寸低溫泵的出色抽氣性能

• 高泵速提高了泵送效率和生產力。

• 理想用于半導體制造的濺射過程，或其它小型設備

• 一個壓縮機可以驅動多達四個裝置。

• 定制設計可以滿足您的需求。

規格

尺寸（單位：毫米）