日本OTSUKA大塚膜厚測定多通道分光器MCPD

日本OTSUKA大塚膜厚測定多通道分光器MCPD

日本OTSUKA大塚電子推出的MCPD系列多通道分光器，是一款專為膜厚測量及光學(xué)特性分析設(shè)計的高性能儀器。該系列憑借其高速、高精度、高動態(tài)范圍及低雜散光等特性，在半導(dǎo)體、顯示面板、光學(xué)材料等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

MCPD系列的核心競爭力在于其突破性的光學(xué)設(shè)計。它采用閃光全息照相型光柵分光系統(tǒng)，配合電子冷卻型CCD或InGaAs圖像傳感器，實現(xiàn)了從紫外到近紅外波段（220nm-1600nm）的高速光譜測量，最短曝光時間僅5毫秒。這一特性使其能夠捕捉快速變化的光譜信號，滿足生產(chǎn)線上的即時檢測需求。同時，該系列具備動態(tài)范圍（可達(dá)1,000,000:1以上），能在一次測量中同時捕獲強和極弱的光信號細(xì)節(jié)，無需多次曝光即可準(zhǔn)確分析從高亮度光源到微弱熒光的各種樣本。

在膜厚測量方面，MCPD系列表現(xiàn)出色。它支持多層膜解析，最多可分析50層薄膜結(jié)構(gòu)，適用于半導(dǎo)體晶圓上的氧化膜、氮化膜、光阻膜等薄膜的厚度測量。此外，該系列還具備物體顏色測量、光源顏色評估（色度、輝度、照度）、熒光測量等多種功能，滿足不同應(yīng)用場景的需求。

MCPD系列還注重用戶體驗和便捷性。它采用小巧輕量化設(shè)計，體積比舊機型減少約60%，便于集成到各種復(fù)雜的測量系統(tǒng)中。同時，該系列配備USB和LAN通信接口，支持遠(yuǎn)程測量和自動化檢測，為集成應(yīng)用提供了便利。用戶還可以通過專用軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)采集、存儲和處理，實現(xiàn)全面的光譜分析功能。