日本KOSAKA小坂微細(xì)穴三次元測(cè)定機(jī)FP-Labo

日本KOSAKA小坂微細(xì)穴三次元測(cè)定機(jī)FP-Labo是一款專為微細(xì)孔內(nèi)部形貌測(cè)量設(shè)計(jì)的高精度接觸式測(cè)量?jī)x。該設(shè)備采用纖維測(cè)針技術(shù)，可探測(cè)微細(xì)孔（φ10μm起）至深度約300μm的深孔內(nèi)部形貌，擁有10nm的高分辨率，能夠在非破壞條件下精確測(cè)得深孔內(nèi)徑、深度、壁面粗糙度、圓度、平面度及直角度等參數(shù)。

FP-Labo的核心優(yōu)勢(shì)在于其創(chuàng)新的測(cè)針技術(shù)與精密機(jī)械結(jié)構(gòu)。纖維測(cè)針的細(xì)小直徑使其能夠進(jìn)入傳統(tǒng)測(cè)針難以觸及的微小孔徑，而高剛性工作臺(tái)與空氣軸承系統(tǒng)則有效抑制外部震動(dòng)，確保測(cè)量穩(wěn)定性。設(shè)備配備直動(dòng)式傳感器，支持Z方向自動(dòng)停止功能，通過(guò)伺服控制自動(dòng)尋找最佳測(cè)量位置，減少手動(dòng)微調(diào)需求，顯著提升操作效率。此外，F(xiàn)P-Labo采用高分辨率CCD實(shí)時(shí)觀測(cè)探針工作狀態(tài)，便于精準(zhǔn)定位測(cè)試區(qū)域，同時(shí)支持中文化軟件，除臺(tái)階分析外還具備粗糙度解析功能，滿足多樣化檢測(cè)需求。

該設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、機(jī)械加工及科研領(lǐng)域，尤其適用于MEMS器件、光電子元件、精加工表面及生物醫(yī)學(xué)器件等微米/納米級(jí)材料的膜厚、臺(tái)階及段差測(cè)量。其高精度與高重復(fù)性（1σ 0.5nm以內(nèi)）使其成為質(zhì)量控制與研發(fā)分析的理想工具，既能滿足車間環(huán)境中的快速幾何測(cè)量需求，也可勝任實(shí)驗(yàn)室對(duì)高精度測(cè)量的嚴(yán)苛要求。FP-Labo的推出，進(jìn)一步鞏固了KOSAKA小坂研究所在精密測(cè)量領(lǐng)域的地位。