日本KOSAKA小坂微細形狀測定機 ET4000A代理

日本KOSAKA小坂微細形狀測定機 ET4000A代理是日本KOSAKA小坂研究所推出的一款高精度、多功能全自動微細形狀測定機，專為半導(dǎo)體、平板顯示、硬盤制造及精密加工等領(lǐng)域設(shè)計，能夠滿足納米級表面形貌分析的嚴苛需求。

?核心性能參數(shù)方面?，ET4000A展現(xiàn)出的精度與穩(wěn)定性：

• ?測量范圍?：Z軸最大測定范圍達100μm，X軸移動量100mm，支持最大工件尺寸210mm×210mm（可選配至300mm×400mm），適應(yīng)不同尺寸樣品需求。

• ?分辨率與重復(fù)性?：Z軸分辨率0.1nm，重現(xiàn)性1σ 0.5nm以內(nèi)，臺階重現(xiàn)性可達0.2nm以下，確保微小臺階的精確捕捉。

• ?測定力與觸針?：測定力范圍0.5μN至500μN，觸針半徑0.5μm、2μm可選，適應(yīng)軟質(zhì)與硬質(zhì)材料表面測量。

• ?驅(qū)動與定位?：采用直動式驅(qū)動方式，移動真直度0.005μm/5mm，線性尺分解能0.01μm，位置定位再現(xiàn)性±5μm，保障長距離測量的高精度。

?功能特點上?，ET4000A具備多項創(chuàng)新設(shè)計：

• ?超高直線度保證?：確保量測圖形不受移動軸影響，支持長距離量測及表面翹曲度、波紋度、內(nèi)應(yīng)力解析。

• ?*檢出器?：采用超低噪音直動式LVDT傳感器，減少測量誤差。

• ?高分辨率定位?：配備高分辨率CCD，實時觀測測量過程，提升操作便捷性。

• ?中文化軟件?：支持60多種測量參數(shù)，可對應(yīng)各種國際規(guī)范，滿足多樣化分析需求。

?應(yīng)用領(lǐng)域廣泛?，ET4000A適用于半導(dǎo)體硅片表面形貌、臺階高度、薄膜厚度測量，平板顯示基板平整度、段差檢測，硬盤盤片表面粗糙度、磁頭飛行高度分析，以及精密機械零部件的表面形狀、尺寸精度測量等，為工藝控制與研發(fā)分析提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支持。