蔡司ZEISS XENOS 高精度橋式三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)

蔡司ZEISS XENOS 高精度橋式三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)

ZEISS XENOS：重新定義工業(yè)計(jì)量精度邊界

作為蔡司計(jì)量產(chǎn)品線的旗艦機(jī)型，ZEISS XENOS橋式三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)代表著當(dāng)前工業(yè)計(jì)量技術(shù)的最高成就。其突破性的設(shè)計(jì)理念將測(cè)量精度推進(jìn)至納米級(jí)范疇，在航空航天、光學(xué)精密制造、半導(dǎo)體設(shè)備等領(lǐng)域樹立了新的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

革命性的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

設(shè)備采用整體式零膨脹陶瓷基座，配合主動(dòng)溫控系統(tǒng)（ACT-TEMP）實(shí)現(xiàn)±0.01K的溫度穩(wěn)定性。XENOS-CORE框架結(jié)構(gòu)通過有限元優(yōu)化，使動(dòng)態(tài)剛度達(dá)到傳統(tǒng)機(jī)型的5倍，有效抑制測(cè)量過程中的微振動(dòng)干擾。磁懸浮驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)（MAG-DRIVE）摒棄傳統(tǒng)摩擦傳動(dòng)，定位分辨率達(dá)到驚人的0.01μm。

納米級(jí)測(cè)量系統(tǒng)

搭載第七代VAST-XT gold測(cè)頭系統(tǒng)，采用金剛石涂層探針和光學(xué)編碼器技術(shù)，實(shí)現(xiàn)0.05μm的單點(diǎn)重復(fù)精度。創(chuàng)新的XTR多傳感技術(shù)可自動(dòng)切換接觸式測(cè)量與光學(xué)掃描模式，在復(fù)雜曲面測(cè)量時(shí)仍能保持0.1μm的輪廓精度。環(huán)境補(bǔ)償單元集成32通道傳感器網(wǎng)絡(luò)，實(shí)時(shí)修正溫度、氣壓、濕度等16項(xiàng)環(huán)境參數(shù)的影響。

智能控制平臺(tái)

配備ZEISS MMX操作系統(tǒng)，具備深度學(xué)習(xí)能力的自適應(yīng)路徑規(guī)劃功能，可預(yù)測(cè)工件變形并自動(dòng)優(yōu)化測(cè)量軌跡。在線診斷系統(tǒng)（X-DIAG）通過3000+個(gè)監(jiān)測(cè)點(diǎn)實(shí)現(xiàn)設(shè)備健康狀態(tài)的實(shí)時(shí)評(píng)估，關(guān)鍵部件壽命預(yù)測(cè)準(zhǔn)確度達(dá)95%。"計(jì)量模式"可暫時(shí)關(guān)閉所有非必要功能，在超精密測(cè)量時(shí)消除系統(tǒng)內(nèi)部電磁干擾。

典型應(yīng)用場(chǎng)景

• 極紫外光刻機(jī)光學(xué)元件面形檢測(cè)（PV值<10nm）

• 航空發(fā)動(dòng)機(jī)單晶渦輪葉片型腔測(cè)量（公差帶±0.8μm）

• 引力波探測(cè)器反射鏡組裝調(diào)試

• 高能物理實(shí)驗(yàn)裝置精密定位

通過德國(guó)PTB認(rèn)證和ISO 17025標(biāo)準(zhǔn)，XENOS的年精度漂移量控制在0.2μm以內(nèi)，其建立的測(cè)量結(jié)果可直接作為國(guó)家計(jì)量基準(zhǔn)的溯源依據(jù)。該設(shè)備現(xiàn)已應(yīng)用于全球23個(gè)國(guó)家的一級(jí)計(jì)量實(shí)驗(yàn)室，成為工業(yè)4.0時(shí)代精密制造的基石裝備。