日本MITUTOYO高精度掃描探針 SP80

日本MITUTOYO高精度掃描探針 SP80

一、核心技術(shù)創(chuàng)新

SP80掃描探針代表了接觸式測量技術(shù)的最新突破。其核心創(chuàng)新在于采用了"雙模減振系統(tǒng)"：機(jī)械減振機(jī)構(gòu)可消除85%的環(huán)境振動干擾，電子主動補(bǔ)償系統(tǒng)則進(jìn)一步抑制殘余振動。探針測桿采用單晶藍(lán)寶石材料，配合直徑0.3mm的碳化鎢測球，在保持0.1μN(yùn)級接觸力的同時，實(shí)現(xiàn)了業(yè)界的±0.008μm（8納米）重復(fù)測量精度。

二、精密溫度控制系統(tǒng)

針對超精密測量環(huán)境需求，SP80搭載了第三代智能溫補(bǔ)系統(tǒng)：

1. 內(nèi)置5個高靈敏度溫度傳感器，實(shí)時監(jiān)測探針各部位溫度變化

2. 采用AI預(yù)測算法，可提前30秒預(yù)判溫度漂移趨勢

3. "三軸獨(dú)立補(bǔ)償"技術(shù)，將熱變形影響控制在X/Y軸≤2nm/℃，Z軸≤1nm/℃ 這套系統(tǒng)使得SP80在恒溫實(shí)驗(yàn)室（20±0.5℃）條件下，可實(shí)現(xiàn)連續(xù)8小時測量漂移不超過15nm的穩(wěn)定表現(xiàn)。

三、工程設(shè)計(jì)與應(yīng)用優(yōu)勢

1. 人機(jī)工程改進(jìn)：

• 磁性快換接口支持15秒內(nèi)完成探針更換

• 360°全向指示燈實(shí)時顯示測量狀態(tài)

• 符合ISO 13485醫(yī)療設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)的防污染設(shè)計(jì)

2. 工業(yè)適配性：

• 通過專用轉(zhuǎn)接器兼容三豐CV-3200、SV-C3200等主流輪廓儀

• 支持G代碼直接調(diào)用測量程序

• 標(biāo)配防撞保護(hù)功能，可承受50次/秒的誤碰檢測

3. 典型應(yīng)用場景：

• 航空航天：渦輪葉片冷卻孔形位公差檢測

• 半導(dǎo)體：晶圓切割道三維輪廓測量

• 醫(yī)療器械：人工關(guān)節(jié)表面粗糙度分析

• 光學(xué)制造：非球面透鏡面形誤差評估

四、測量性能驗(yàn)證

經(jīng)日本國家計(jì)量院（NMIJ）認(rèn)證：

• 平面度測量不確定度：0.02μm/50mm

• 階梯高度測量重復(fù)性：0.005μm（1σ）

• 最大允許誤差（MPE）：±（0.1+L/200）μm（L為測量長度，單位mm） 在實(shí)際汽車噴油嘴測量案例中，SP80成功實(shí)現(xiàn)了直徑0.1mm微孔的輪廓全參數(shù)測量，數(shù)據(jù)重復(fù)性達(dá)98.7%。