產(chǎn)品展示
當前位置：首頁產(chǎn)品展示檢測儀器日本HONDA本多W-357-1MQG-SKC日本HONDA本多石英振動體清洗機
產(chǎn)品型號：W-357-1MQG-SKC
更新時間：2025-06-07
廠商性質(zhì)：代理商
訪 問 量 ：242
028-68749778
產(chǎn)品分類
檢測儀器
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下一代清洗技術，實現(xiàn)低損害和高清潔度
2006年,第一臺石英振動體超聲清洗裝置投入實際使用。在這種方法中，通過在石英振動體上疊加超聲波對半導體晶圓進行清洗。與批量清洗和流水清洗相比，可以減少化學品的使用量，由于只有石英玻璃與液體接觸，沒有墊片等橡膠材料與液體接觸，因此能保持較高的清潔度。石英振動體有不同的形狀，以適應不同的用途，能夠根據(jù)需要進行有效的清洗，如低損傷清洗、大面積清洗、斜面（邊緣表面）和缺口（晶圓邊緣表面的缺口）的清洗等。
對具有細微結構的晶片進行低損傷清洗■通過在石英振動元件上疊加超聲波對半導體晶片進行清洗。將超聲波振動從石英振動元件通過化學溶液傳播到半導體晶片上，接觸區(qū)的化學溶液振動，加速去除表面污染。■清潔度高，對半導體晶圓的損害最小。與使用橡膠材料（如墊片）的設備相比，使用石英與化學溶液接觸，可以確保清潔，而不會有橡膠溶出。■震蕩器冷卻功能通過用氣體（如氮氣）冷卻震蕩器，可以實現(xiàn)穩(wěn)定的連續(xù)工作，沒有頻率波動。冷卻還能確保沒有溫度的突然變化，從而延長使用壽命。
膠體殘留物的清除封邊和灰化后的聚合物清除柵電極極清洗CMP后的清洗
■發(fā)振器
●可變的輸出范圍：0W到12W（振動體的允許輸入：當使用空氣吹掃冷卻時，連續(xù)10W）。●周圍操作環(huán)境：溫度：15至35℃，濕度：10至85%。●外部驅(qū)動觸點額定值：超聲波振蕩控制（控制側(cè)）觸點輸入：12 V DC 16 mA min. 報警輸出（主單元）觸點容量：24 V DC 0.5 A■附屬電纜：電源線（100V為2米/200V為3米），控制線（5米）x4
■振動體
●工作液體溫度范圍：20-50℃。●換能器：PZT●材料：振動器：石英玻璃，墊片：硅橡膠，外殼：PCTFE●線長：輸出線1.5米+繼電器線3.5米●冷卻氣體接頭：兼容管（外徑?6）
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